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ZP3-4 微納探針臺(tái)探針數(shù)量:4個(gè)探頭,每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度:每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)(X、Y、Z三自由度)。
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